华为又放大招了!近日,华为在芯片技术领域又取得了一项新的专利,名为“晶圆处理装置和晶圆处理方法”。根据国家知识产权局的公告,华为于2022年6月申请了该专利。
芯片生产的核心材料是一个圆晶片,通过光刻机等仪器进行加工,最终形成一款完整的芯片。华为的新专利主要针对晶圆处理装置和处理方法进行改进。其中,晶圆处理装置设计独特,包括一个可沿旋转轴线旋转的晶圆载台,这种设计有助于提高晶圆处理的灵活性和效率。
除了硬件装置的创新,华为新专利还涉及晶圆处理方法的改进。在晶圆载台承载晶圆的情况下,光栅板和成像元件分别位于晶圆载台的上表面所在平面相对两侧。上表面用于承载晶圆,这种方法利用光学原理进行对准。通过这种改进,华为有望在芯片生产过程中实现更高的精度和效率。
而华为Mate60上搭载的麒麟9000s,其精度和效率超越了传统的机械对准方式,这是否意味着该技术已被应用呢?对此,你们怎么看?